All in one tool ~ 様々なアプリケーションをこの1台でご提供いたします ~
- ・ FIB 加工から SEM 観察、EDS、EBSD 分析まで全ての機能に配慮した最適配置試料室
- ・ 高分解能SEMとの組合せにより、精度の高い薄膜試料作製が可能
- ・ FIB最大イオン電流60nAにより、大面積の短時間加工が可能
- ・ 保護膜作製や配線修復の目的で、最大3種類のガス銃装着が可能
- ・ FIBの加工状況を高分解能SEMにより、リアルタイムモニタリングが可能
- ・ 高性能サーマルFE電子銃の採用により、最大電流200nAの高速分析が可能
